IDP-type chemisch-mechanische polijstmachine
Elke drukplaat van de chemisch-mechanische polijstmachine uit de CP-serie met onafhankelijke aandrijving van de drukplaat wordt aangedreven door een afzonderlijke servoreductor. In tegenstelling tot de manier waarop de door een centrale geleidingsrol aangedreven CP-machine wordt aangedreven door wrijving, kan de drukplaatonafhankelijk rijdende CP-machine een nauwkeurige snelheidsregeling van de drukplaat realiseren. Tegelijkertijd wordt, als gevolg van de structuur van het vermijden van wrijvingscontact in het polijstgebied, de vorming van kristaldeeltjes van polijstslurry verminderd, waardoor de kans op deeltjesvervuiling en krassen op het oppervlak van de wafel wordt verminderd; De rotatiesnelheid van elke drukplaat van de IDP-machine kan afzonderlijk worden ingesteld. Volgens de kenmerken van de drukcilinder van elke drukplaat resulteert de verwerking in een vrijwel nulverschil tussen verschillende drukplaten. Dit kan worden bereikt door een fijne aanpassing van de rotatiesnelheid van de drukplaten.
Voor IDP-machines met grote afmetingen kan positionering en stationwisseling van keramische platen worden gerealiseerd door interne en externe geleidingsrollen toe te voegen, om het laden en lossen in één station te realiseren. Het kan ook de verbinding van meerdere machines realiseren door een manipulator te integreren om een automatische productielijn te vormen.
IDP TYPE CP-serie chemisch-mechanische polijstmachine
Type en spec | CP-380B-IDP | CP-460B-IDP | CP-610B-IDP | CP-810B-IDP |
Diameter polijstplaat | 381 mm | 460 mm | 610 mm | 812 mm |
Diameter drukplaat | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm |
Aantal drukplaat | 3 | 3 | 4 | 4 |
Polijstplaat toerental | 10~160 tpm | 10~160 tpm | 10~115 tpm | 10~87 tpm |
Polijstdruk (max.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg |
Door drukplaat aangedreven Motorvermogen | 200W | 200W | 400 kW | 400 kW |
Rotatiesnelheid van de drukplaat | 0~200 tpm | 0~200 tpm | 0~100 tpm | 0~100 tpm |
Hoofdmotorvermogen | 0.75 kW | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW |
Voeding | 3PH,380V,50Hz | |||
Dimensie | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Gewicht (ongeveer..) | 350 kg | 350 kg | 980 kg | 1800 kg |
Laadvermogen van wafers | 2"-4st./kop | 2"-4st./kop | 2"-10st./kop 4"-3st./kop | 2"-14st./kop 4"-5st./kop 5"-3st./kop |
Type en spec | CP-910B-IDP | CP-1280B-IDP | CP-1500B-IDP |
Diameter polijstplaat | 914 mm | 1282 mm | 1500 mm |
Diameter drukplaat | 360 mm | 485 mm | 576 mm |
Aantal drukplaat | 4 | 4 | 4 |
Polijstplaat toerental | 10-80tpm | 10~64 tpm | 10-54tpm |
Polijstdruk (max.) | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Door drukplaat aangedreven Motorvermogen | 2 kW | 1 kW | 1,3 kW |
Rotatiesnelheid van de drukplaat | 2 kW | 0~100 tpm | 0~100 tpm |
Hoofdmotorvermogen | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Voeding | 3PH,380V,50Hz | ||
Dimensie | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Gewicht (ongeveer..) | 2200 kg | 7000 kg | 8600kg |
Laadvermogen van wafers | 4"-7st./kop 5"-5st./kop 6"-3st./kop | 5"-8st./kop 6"-6st./kop 8"-3st./kop | 6"-8st./kop 8 "5 stks/hoofd |
Populaire tags: idp type chemisch-mechanische polijstmachine, China idp type chemisch-mechanische polijstmachine fabrikanten, leveranciers, fabriek
Volgende
NoMisschien vind je dit ook leuk
Aanvraag sturen