Mechanische polijstmachine uit de MP-serie
De mechanische polijstmachine uit de LSTD MP-serie is ontwikkeld om te voldoen aan de eisen van het snel polijsten van superharde materialen. De apparatuur maakt gebruik van zachte metalen platen of composietplaten en diamantslurry met een specifieke deeltjesgrootte, waardoor het bewerkte werkstuk snel het spiegeloppervlak kan bereiken. Een ander belangrijk voordeel van mechanisch polijsten is dat er, onder de vooronderstelling van een goede controle van de plaatvorm, een zeer vlak werkstukoppervlak kan worden verkregen met vrijwel geen inzakking van de randen. Voor het werkstuk (wafer) met epitaxiale toepassing kan na mechanisch polijsten de procestijd van chemisch-mechanisch polijsten aanzienlijk worden verkort en de kosten worden verlaagd. De chemisch-mechanische polijstmachine uit de MP-serie kan worden gebruikt voor het mechanisch polijsten van verschillende superharde halfgeleiderwafels zoals saffier, siliciumcarbide en diamant, evenals voor het polijsten van andere superharde materialen zoals keramiek, gecementeerd carbide en gehard staal.
Zoals chemisch-mechanische polijstmachines uit de CP-serie:
De mechanische polijstmachines uit de MP-serie zijn ook onderverdeeld in drie dezelfde modellen: het basistype, het drukschijf-middenaangedreven type (CD-type) en het drukplaat-onafhankelijk aangedreven type (IDP-type) (zie pagina 4; De mechanische polijstmachines uit de MP-serie hebben een vergelijkbare structuur als de CP serie chemisch-mechanische polijstmachines, maar om aan de behoeften van mechanisch polijsten te voldoen, zijn de mechanische polijstmachines uit de MP-serie uitgerust met een polijstplaatdraaisysteem om de platen te groeven.
IDP Type mechanische polijstmachine:
De mechanische polijstmachine van het IDP-type kan ook de mechanische polijstnauwkeurigheid verder verbeteren door de zwenkfunctie van de drukplaat te integreren; Om de problemen van uitzettingsvervorming en hardheidsvermindering van de polijstplaat, veroorzaakt door verwarming gegenereerd door mechanisch polijsten, op te lossen, heeft LSTD een nieuwe technologie ontwikkeld en een patent aangevraagd die de plaatoppervlaktetemperatuur, plaatvorm en plaathardheid effectief kan regelen; Voor het mechanisch polijsten van halfgeleidermaterialen van de derde generatie, zoals siliciumcarbide, diamant en andere wafers, kan deze technologie de problemen van mechanische polijstefficiëntie en nauwkeurigheid effectief oplossen.
BASISTYPE MP-serie mechanische polijstmachine
Type en spec | MP-380B(V*) | MP-460B(V) | MP-610B(V) | MP-810B(V) | MP-910B(V) | MP-1280B(V) | MP-1500B(V) |
Diameter polijstplaat | 381 mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm | 898 mm | 1262 mm | 1480 mm |
Diameter drukplaat | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm | 360 mm/355 mm | 485 mm | 576 mm |
Aantal drukplaat | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Polijstplaat toerental | 10~160 tpm | 10~160 tpm | 10~115 tpm | 10~87 tpm | 10-80tpm | 10~64 tpm | 10-54tpm |
Polijstdruk (max.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Motorkracht | 0.75 kW | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Stroomvoorziening | 3PH,380V,50Hz | ||||||
Dimensie | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Gewicht (ongeveer..） | 420 kg | 720 kg | 1080kg | 2200 kg | 2400 kg | 7300 kg | 9500kg |
Laadvermogen van wafers | 2"-4st./kop 2"-3st./kop(V) | 2"-5st./kop 2"-4st./kop(V) | 2"-10st./kop 4"-3st./kop | 2"-14st./kop 4"-5st./kop 5"-3st./kop | 4"-7st./kop 5"-5st./kop 6"-3st./kop | 5"-8st./kop 6"-6st./kop 8"-3st./kop | 6"-8st./kop 8"-5st./kop |
CD TYPE MP-serie mechanische polijstmachine
Type en spec | MP-380B-CD | MP-460B-CD | MP-610B-CD | MP-810B-CD |
Diameter polijstplaat | 381 mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm |
Diameter drukplaat | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm |
Aantal drukplaat | 3 | 4 | 4 | 4 |
Polijstplaat toerental | 10~160 tpm | 10~160 tpm | 10~115 tpm | 10~87 tpm |
Polijstdruk (max.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg |
Centrum aangedreven motorvermogen | 400W | 750 kW | 1 kW | 1,5 kW |
Hoofdmotorvermogen | 0.75 kW | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW |
Stroomvoorziening | 3PH,380V,50Hz | |||
Dimensie | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H |
Gewicht (ongeveer..） | 420 kg | 720 kg | 1080kg | 2200 kg |
Laadvermogen van wafers | 2"-4st./kop | 2"-5st./kop | 2"-10st./kop 4"-3st./kop | 2"-14st./kop 4"-5st./kop 5"-3st./kop |
Type en spec | MP-910B-CD | MP-1280B-CD | MP-1500B-CD |
Diameter polijstplaat | 898 mm | 1262 mm | 1480 mm |
Diameter drukplaat | 360 mm / 355 mm | 485 mm | 576 mm |
Aantal drukplaat | 4 | 4 | 4 |
Polijstplaat toerental | 10-80tpm | 10~64 tpm | 10-54tpm |
Polijstdruk (max.) | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Centrum aangedreven motorvermogen | 2 kW | 3,5 kW | 5,5 kW |
Hoofdmotorvermogen | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Stroomvoorziening | 3PH,380V,50Hz | ||
Dimensie | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Gewicht (ongeveer..） | 2400 kg | 7300 kg | 9500kg |
Laadvermogen van wafers | 4"-7st./kop 5"-5st./kop 6"-3st./kop | 5"-8st./kop 6"-6st./kop 8"-3st./kop | 6"-8st./kop 8 "5 stks/hoofd |
IDP TYPE MP-serie mechanische polijstmachine
Type en spec | MP-380B-IDP | MP-460B-IDP | MP-610B-IDP | MP-810B-IDP |
Diameter polijstplaat | 381 mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm |
Diameter drukplaat | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm |
Aantal drukplaat | 3 | 3 | 4 | 4 |
Polijstplaat toerental | 10~160 tpm | 10~160 tpm | 10~115 tpm | 10~87 tpm |
Polijstdruk (max.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg |
Door drukplaat aangedreven Motorvermogen | 200W | 200W | 400 kW | 400 kW |
Rotatiesnelheid van de drukplaat | 0~200 tpm | 0~200 tpm | 0~100 tpm | 0~100 tpm |
Hoofdmotorvermogen | 0.75 kW | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW |
Stroomvoorziening | 3PH,380V,50Hz | |||
Dimensie | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Gewicht (ongeveer..） | 350 kg | 350 kg | 980 kg | 1800 kg |
Laadvermogen van wafers | 2"-4st./kop | 2"-4st./kop | 2"-10st./kop 4"-3st./kop | 2"-14st./kop 4"-5st./kop 5"-3st./kop |
Type en spec | MP-910B-IDP | MP-1280B-IDP | MP-1500B-IDP |
Diameter polijstplaat | 898 mm | 1262 mm | 1480 mm |
Diameter drukplaat | 360 mm / 355 mm | 485 mm | 576 mm |
Aantal drukplaat | 4 | 4 | 4 |
Polijstplaat toerental | 10-80tpm | 10~64 tpm | 10-54tpm |
Polijstdruk (max.) | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Door drukplaat aangedreven Motorvermogen | 2 kW | 1 kW | 1,3 kW |
Rotatiesnelheid van de drukplaat | 2 kW | 0~100 tpm | 0~100 tpm |
Hoofdmotorvermogen | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Stroomvoorziening | 3PH,380V,50Hz | ||
Dimensie | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Gewicht (ongeveer..） | 2200 kg | 7000 kg | 8600kg |
Laadvermogen van wafers | 4"-7st./kop 5"-5st./kop 6"-3st./kop | 5"-8st./kop 6"-6st./kop 8"-3st./kop | 6"-8st./kop 8 "5 stks/hoofd |
Populaire tags: mp-serie mechanische polijstmachine, China mp-serie mechanische polijstmachine fabrikanten, leveranciers, fabriek
Een paar
NoVolgende
NoMisschien vind je dit ook leuk
Aanvraag sturen